SCIS高精密環境控制設備
南京拓展始終堅持技術創新為第一源動力,憑借在暖通專業設計上積累的深厚功底與獨特優勢,結合客戶的廣泛需求和使用痛點,自主研發了相關產品:SCIS高精密環境控制設備。(更多詳情可點擊http://www.jicenj.com/)設備主要由設備主柜體、控制系統、氣流循環系統潔凈過濾器、制冷(熱)系統、照明系統、局部氣浴等組成,為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環境。該設備內部通過風機引導氣流以一定的方向循環,控制系統對循環氣流的每個環節進行處理,從而使柜內的溫濕度達到超高的控制精度。
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超高精度溫濕度控制
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超高水準潔凈度控制
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數據實時記錄查詢
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外觀定制可拆卸
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設備運行靜音高效
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自動安全保護系統
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| 命名 | SCIS | H | A | A | 100 |
| 碼位 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 |
| 第1碼 | SCIS-品牌 | ||||
| 第2碼 | H-高精密環控系列 | ||||
| 第3碼 | 制冷模式編號 A-風冷型,冷媒介質為水 B-水冷型,冷媒介質為水 C-風冷型,冷媒介質為氟利昂 D-水冷型,冷媒介質為氟利昂 E-用戶提供冷凍水 | ||||
| 第4碼 | 溫度精度編號 A-精度高于±0.01 B-精度低于±0.01,高于±0.05 C-精度低于±0.05 | ||||
| 第5碼 | 設備規模編號 100-小型設備(一般制冷量小于5KW)200-中型設備(一般制冷量在5KV-10KW之間) 300-大型設備(一般制冷量在10KW以上) | ||||
| 設備需放置于具有一定溫濕度精度、潔凈度要求的實驗室內運行。 | |
| 周圍溫濕度條件 | ±2℃ DB溫度變化率0.5℃/8h以內 |
| ±5%RH 濕度變化率59%8h以內 | |
| 周圍潔凈度條件 | ISO class6 |
| 環境噪音 | ≤60dB |
| 供電電源 | 三相五線制380VAC-50Hz或220VAC-50Hz(根據設備而定) |
| 電源電壓 | 最大允許波動范圍為±10% |
| 儲存環境溫度 | 設備制冷單元-40℃-70℃ 觸摸屏-20℃-60℃,不結露 |
| 運行環境溫度 | 控制器-20℃-60℃ 觸摸屏0℃-50℃,不結露 |
典型運用
芯片半導體
精密測量
精密制造
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自主研發的高精密控溫技術 , 控制輸出精度0 . 1%



