陜西省計量科學研究院
此項目的重難點在于實驗室布局和恒溫室的精密控制。其中高等級量塊實驗室溫度要求20±0.2℃;量塊測量實驗室溫度要求20±0.3℃;納米測量實驗室潔凈度要求萬級,溫度要求20±0.5℃;超高精密三坐標測量實驗室溫度要求20±0.5℃,溫度變化0.2℃/h,溫度梯度為0.1℃/h。
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